吴涛导师研讨课：微纳机系统NEMS

如今谈起各种科技产品，人们往往津津乐道于芯片、内存、屏幕、相机等各种数据和跑分，其实它们小小的身形当中，还有许许多多的微米甚至纳米大小的电子机械系统。在导航、拍照、指纹解锁那些看似平凡无奇的功能背后，都离不开无比精密的微纳机电系统的支持。在2019年秋学期第三堂导师研讨课上，吴涛老师带领我们解开了微纳机电系统这个陌生名字的神秘面纱。

1946年，世界上第一台电子计算机伊尼亚克诞生，占地170平方米，重达30吨；1947年在美国贝尔实验室制造出全球第一个晶体管；1959年，理查德·费曼在加州理工学院做了的题为《底层还有大空间》(There's Plenty of Room at the Bottom）的演讲，提出了在原子尺度上操纵物质的可能性以及将面临的挑战，标志着微机电时代的开启；1964年，西屋公司的一支团队制造出了第一批微机电设备──谐振栅极晶体管；1965年，著名的摩尔定律诞生；1990年，IBM的科学家成功对单个原子进行了重排。自此，微机电产业迎来了飞速发展。通过吴涛老师介绍的微机电产业发展的历史，我们体会到了敢想、敢做的重要性；当今的信息时代，正是几十年来无数技术先驱们勇敢探索的结果。

科技的进步，让最普通的沙子也能“点石成金”，制造成如今位于产业尖端的芯片。硅片制造、晶圆制造、光刻、流片⋯⋯一项项精密技术环环相扣，让我们不禁感叹技术的神奇力量。我们跟随老师的脚步走进微米的数量级，了解了最基本的悬臂梁、梳齿机的工作原理，和各种传感器如何实现信号处理，以及各种微机电系统的创新形态。

吴涛老师带领我们展望了物联网的全新时代，这之中，微纳机电系统正发挥着越来越关键的作用，赋予机器更鲜活的灵魂。正好比佛家所谓的“一花一世界”，正是微米甚至纳米级别的微机电系统中数以亿计的晶体管，构成了我们万物互联的世界。这堂课最后，吴涛老师介绍了目前的产业方向和上科大在微电子领域的课程体系，希望我们当中有志于从事微纳机电系统方面的同学，能保持好奇与热情，推动科技的探索和进步。